超純水用帯電防止装置

eFLOW

ファンクショナルプロダクツ

超純水用帯電防止装置 超純水用帯電防止装置

eFLOW Seriesは、DICが独自に開発した「中空糸気体透過膜」を介し炭酸ガスを給気する方法で、超純水の比抵抗値を制御する装置です。静電気による「ゴミ再付着」防止や基板パターンの「静電気破壊」防止といった効果が得られます。
※特許出願済み

超純水用帯電防止装置とは

■雑な機構を持たないため、故障が少ない
■独自の配管分配方式により、比抵抗値の制御が容易で安定性に優れている
■炭酸ガス給気モジュールの寿命が長い(5年間保証・自社製)

炭酸ガス溶解モジュール(右上図参照)で生成した炭酸ガス飽和水と超純水との混合比率を調整することにより、超純水の比抵抗値の調節ができます。

DIWはモジュール内で中空糸膜内部を流れます。その間に中空糸膜外側よりCO2ガスがDIW内に溶け込みます。溶解した炭酸ガスはDIW内でイオン化し、DIWに導電性が付与され静電気が除去できます。微細な中空糸膜を束にしたものを使用しているため、効率良く炭酸ガス溶解に必要な表面積が得られます。

eFLOW2, 3A*タイプは、炭酸ガス溶解モジュールを2本搭載しています。

※ 流量変動時の比抵抗値性能は保証しておりません。
※ 上記各グラフは参考データです。使用条件により性能、特性が異なる場合があります。

■ クリーン仕様(流量~30L/minまで)
■ 低比抵抗(0.025~0.05MΩ・cm)タイプ
■ 小型・電気部分離タイプ
■ 大流量(100 L/min)タイプ
■ その他 カスタマイズ対応

DICの強み

主な用途

■マスク、レチクルの洗浄
■スクラバー洗浄
■高圧ジェット洗浄
■ダイシング工程での洗浄
■セル洗浄

製品ラインナップ

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