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2010年2月24日

中空糸膜大型脱気モジュールの開発に成功

-画期的な性能を有する大型タイプで、超純水供給設備の大規模化に対応-

DIC株式会社(本社:東京都中央区、社長執行役員:杉江和男)は、このたび中空糸膜大型脱気モジュールの開発に成功、半導体メーカーや液晶ディスプレーメーカーにおける超純水供給設備の大型化への対応品として、本年4月より販売を開始致します。

当社の中空糸は外径250μm、内径200μm程度のパイプ形状の繊維で、SS膜(注)と称される表面の特性により、液体は通さず気体のみを通します。中空糸を一定本数束ねて筒に収め、給排水口等の付帯設備を付けた装置は「中空糸膜脱気モジュール(以下、モジュール)」と称され、液体中に溶け込んだ気体の除去(溶存気体の脱気)に用いられています。一般的な使用例としては、水の溶存酸素脱気によるボイラーや配水管のサビ防止、半導体や液晶ディスプレーの生産の際に使用される洗浄水の脱気による超純水化などが挙げられます。

当社では、SS膜の特性を活かして、溶存気体が印刷トラブルの原因となるインクジェット用インキや、半導体の精密パターン生成(フォトリソグラフィー)用現像液などの小流量液体の脱気用途、毎時5立方メートル以下の水の脱気用途に、高性能かつ小型のモジュールを販売してまいりました。

ところが昨今、半導体メーカーや液晶ディスプレーメーカーにおいて、洗浄水を供給する超純水設備の大型化が顕著となり、高性能かつ大型の中空糸膜脱気モジュールが求められるようになりました。そこで当社は、独自の技術によって、筒内に束ねる中空糸の本数を飛躍的に増加させ、最大毎時50立方メートル程度の液体量における脱気が可能な大型モジュール(「中空糸膜大型脱気モジュール」)の開発に成功しました。SS膜の特性により、溶存酸素は超低レベルまでの脱気が可能で、しかも窒素ガスを用いないので、低コスト・高効率な運用が可能です。

当社では、当製品のマーケティングを鋭意進め、5年後には数十億円規模の売上を目指します。

(注) SS(サーフィス・スキン)膜は、当社独自の技術による特殊なスキン層を表面に有しており、浸透性の高い液体でも液漏れなく脱気できる。水中の酸素脱気において表面にスキン層のない膜を使用する場合は、脱気能力の低下を避けるため窒素ガスとの併用が必要となるが、当社製品ではSS膜により、高い真空度での運転が可能なため窒素ガスが不要となり、プロセスの効率化とコスト削減が実現できる。

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