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薬液・溶剤用脱気モジュール PFF Series

薬液・溶剤用脱気モジュール

脱気膜にPTFEを採用した、接液部が全てフッ素樹脂製の脱気モジュールです。酸・アルカリ・有機溶剤などの液体からも脱気が可能です。

主な用途

  • 半導体・LCD製造プロセスで用いる液体の脱気、脱泡(各種レジスト、シンナー、薬液など)
  • 溶剤系ジェットインクの脱気

SEPAREL PFF Seriesの脱気メカニズム

PFFの脱気メカニズムは、四フッ化エチレン樹脂(PTFE)製のチューブ状の気体透過膜を介して、液体に溶解している気体を除去することです。具体的には下図に示すようにチューブの外側を真空にすることにより、チューブ内外の気体の分圧差によってチューブ内を流れる液体から溶解している気体を除去します。

SEPAREL PFF Seriesの脱気メカニズム

性能データ:脱気率と圧力損失

脱気率

脱気率

圧力損失

圧力損失

上記データは水にて測定した参考データです。実際にご使用になる液体の種類によってはこれらのデータと大きく異なる場合がありますのでご注意ください。

型式一覧

高粘度液体を処理する場合、低圧力損失タイプを推奨します。

通常タイプ

型式 外形寸法(mm) 膜面積(m2 内容量 耐圧(MPa)
PF-03F 102φ×180 約0.3 70 0.3
PF-05F 102φ×180 約0.5 110 0.3
PF-10F 102φ×260 約1 230 0.3
PF13F 102φ×260 約1.3 300 0.3
PF-28F 102φ×440 約2.8 650 0.3

低圧損タイプ

型式 外形寸法(mm) 膜面積(m2 内容量 耐圧(MPa)
PF-13F(T) 102φ×260 約1.3 310 0.3
PF-26F(T) 140φ×450 約2.6 620 0.3

メンブレン製品の詳しい製品情報は、SEPARELサイトでご覧ください。

separel.com

この製品に関するお問い合わせ
電話でのお問い合わせ

メンブレン営業部

03-6733-5944

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