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超純水帯電防止装置 eFLOW Series

超純水帯電防止装置

eFLOW Seriesは、DICが独自に開発した「中空糸気体透過膜」を介し炭酸ガスを給気する方法で、超純水の比抵抗値を制御する装置です。静電気による「ゴミ再付着」防止や基板パターンの「静電気破壊」防止といった効果が得られます。

※特許出願済み

特徴

  • 複雑な機構を持たないため、故障が少ない
  • 独自の配管分配方式により、比抵抗値の制御が容易で安定性に優れている
  • 炭酸ガス給気モジュールの寿命が長い(5年間保証・自社製)

主な用途

  • マスク、レチクルの洗浄
  • スクラバー洗浄
  • 高圧ジェット洗浄
  • ダイシング工程での洗浄
  • セル洗浄

製品ラインアップ

Panel mount Type(P Series)

P Seriesは、IEA(アメリカ電子工業)規格準拠ラックへの取り付けが可能です。1APタイプは標準機が接続部オールクリーン仕様、2APタイプは、オプションでオールクリーン対応が可能です。

Panel mount Type(P Series)イメージ

eFLOW 2AP-B01

Panel mount Type(P Series)寸法図

寸法図(単位:mm)

型式一覧

処理流量(L/min) 型式 モジュール
1-16 1AP-B02 PF-001L-NA 1本 1module
5-30 2AP-B01 PF-001L-ND2 2本 2modules
10-50 3AP-B01 PF-001L-ND3 2本 2modules

Cabinet Type(C Series)

C Seriesは、CO2ボンベ2本を搭載可能なキャビネット付きです。比抵抗センサーをキャビネットに内臓し、eFLOWより直接ユースポイントへ水配管を接続できます。

Panel mount Type(C Series)イメージ

eFLOW 2AP-B01

Panel mount Type(C Series)寸法図

寸法図(単位:mm)

型式一覧

処理流量(L/min) 型式 モジュール
1-16 1AC-P101 PF-001L-NA 1本 1module
5-30 2AC-P101 PF-001L-ND2 2本 2modules
10-50 3AC-P101 PF-001L-ND3 2本 2modules

装置原理

装置原理

炭酸ガス溶解モジュール(右上図参照)で生成した炭酸ガス飽和水と超純水との混合比率を調整することにより、超純水の比抵抗値の調節ができます。

CO2溶解原理

DIWはモジュール内で中空糸膜内部を流れます。その間に中空糸膜外側よりCO2ガスがDIW内に溶け込みます。溶解した炭酸ガスはDIW内でイオン化し、DIWに導電性が付与され静電気が除去できます。微細な中空糸膜を束にしたものを使用しているため、効率良く炭酸ガス溶解に必要な表面積が得られます。

2AP, 2AC/3AP, 3AC

2AP, 2AC/3AP, 3AC

1AP, 1AC

1AP, 1AC

炭酸ガス溶解モジュール(内部灌流)DIC製

炭酸ガス溶解モジュール(内部灌流)DIC製

  • eFLOW2, 3A*タイプは、炭酸ガス溶解モジュールを2本搭載しています。

性能データ

eFLOWタイプ別の使用流量範囲

eFLOWタイプ別の使用流量範囲

各タイプの圧力損失

各タイプの圧力損失

ダイシング例

ダイシング例

スクラバー洗浄例

スクラバー洗浄例

  • 流量変動時の比抵抗値性能は保証しておりません。
  • 上記各グラフは参考データです。使用条件により性能、特性が異なる場合があります。

カスタム仕様・装置

  • クリーン仕様(流量~30L/minまで)
  • 低比抵抗(0.025~0.05MΩ・cm)タイプ
  • 小型・電気部分離タイプ
  • 大流量(100 L/min)タイプ
  • その他 カスタマイズ対応

メンブレン製品の詳しい製品情報は、SEPAREL製品サイトでご覧ください。

separel.com

この製品に関するお問い合わせ
電話でのお問い合わせ

メンブレン営業部

03-6733-5944

WEBでのお問い合わせ お問い合わせフォーム
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