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メンブレン製品

DICでは、様々な種類の液体の脱気・給気をコントロールする中空糸膜製品を扱っています。

DICの中空糸膜(SEPAREL)は当社独自の技術から開発されました。この独自の中空糸膜構造により、液漏れがなく、非常に効率の良い脱気を実現しています。

メンブレン製品の詳しい製品情報は、SEPAREL製品サイトでご覧ください。

separel.com

製品ラインアップ

中空糸膜脱気・給気モジュール

液体の脱気・給気をコントロールする中空糸膜です。DICの中空糸膜は液体を通さず、気体のみを透過させるため、液体からの脱気・給気に適しています。
またガス分離膜としても優れた性能を発揮します。

【用途】
<脱気> 純水からの脱酸素・脱炭酸/ボイラー供給水からの脱酸素/レジスト現象液からの脱気・脱泡/ジェットインクからの脱気・脱泡/各種薬液からの脱気・脱泡
<給気> 洗浄用機能水(CO2ガス、H2ガス、N2ガス、O2ガス溶解)

ガス分離モジュール

表面にスキン層を有する独自の中空糸膜(SS膜)は、ガス透過速度・分離性能に優れ、特に酸素/窒素の分離に適しています。

【用途】
酸素/窒素の分離(窒素発生装置)

超純水用帯電防止装置

DICが独自に開発した「中空糸気体透過膜」を介し炭酸ガスを給気する方法で、超純水の比抵抗値を制御する装置です。

【用途】
マスク、レチクルの洗浄/スクラバー洗浄/高圧ジェット洗浄/ダイシング工程での洗浄/セル洗浄

メンブレン製品の詳しい製品情報は、SEPAREL製品サイトでご覧ください。

separel.com

この製品に関するお問い合わせ
電話でのお問い合わせ

メンブレン営業部

03-6733-5944

WEBでのお問い合わせ お問い合わせフォーム

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