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超纯水防静电装置 eFlow Series

超纯水防静电装置

eFLOW Series是通过使用DIC自主开发的「中空纤维透气膜」补充二氧化碳的方法控制超纯水电阻率值的装置。可得到防止因静电引起的「灰尘再次附着」和基板图形的防「静电破坏」的效果。

※专利申请完毕

特征

  • 由于结构简单,故障少
  • 采用独特的配管分配方式,易于控制电阻率值且稳定性优良
  • 二氧化碳供气模组的寿命长(保证期限为5年,本公司制)

主要用途

  • 掩模、网袋的清洗
  • 洗涤器清洗
  • 高压喷射清洗
  • 切割工序的清洗
  • 槽清洗

产品阵容

Panel mount Type(P Series)

P Series可安装在符合EIA(美国电子工业协会)规格的支架上。1AP型为标准机,连接部全清洁规格,2AP型为选购件,可对应全清洁规格。

Panel mount Type(P Series)图像

eFLOW 2AP-B01

Panel mount Type(P Series)尺寸图

尺寸图(单位:mm)

型号一览表

处理流量(L/min) 型号 模组
1-16 1AP-B02 PF-001L-NA 1个 1module
5-30 2AP-B01 PF-001L-ND2 2个 2modules
10-50 3AP-B01 PF-001L-ND3 2个 2modules

Cabinet Type(C Series)

C Series附带可装入2个CO2气瓶的机柜。电阻率传感器内置于机柜内,可通过eFLOW直接把水管连接使用场所。

Panel mount Type(C Series)图像

eFLOW 2AP-B01

Panel mount Type(C Series)尺寸图

尺寸图(单位:mm)

型号一览表

处理流量(L/min) 型号 模组
1-16 1AC-P101 PF-001L-NA 1个 1module
5-30 2AC-P101 PF-001L-ND2 2个 2modules
10-50 3AC-P101 PF-001L-ND3 2个 2modules

装置原理

装置原理

通过调整用二氧化碳溶解模组(参照右上图)生成的二氧化碳饱和水和超纯水的混合比率,可调节超纯水的电阻率值。

CO2溶解原理

DIW在模组内的中空纤维膜内部流动。其间,从中空纤维膜外侧CO2溶入DIW内。溶解的二氧化碳在DIW内发生离子化,可使DIW具有导电性,消除静电。由于使用微细中空纤维膜束,可以有效获得二氧化碳溶解所需要的表面积。

2AP, 2AC/3AP, 3AC

2AP, 2AC/3AP, 3AC

1AP, 1AC

1AP, 1AC

二氧化碳溶解模组(内部灌流)DIC制

二氧化碳溶解模组(内部灌流)DIC制

  • eFLOW2, 3A*型装载有两个二氧化碳溶解模组。

性能数据

按eFLOW类型区分的使用流量范围

按eFLOW类型区分的使用流量范围

各类型的压力损失

各类型的压力损失

切割例

切割例

洗涤器清洗例

洗涤器清洗例

  • 不保证流量变动时的电阻率值性能。
  • 上述各图表为参考数据。根据使用条件的不同,性能特性有所区别。

定制规格·装置

  • 清洁规格(流量~30L/min)
  • 低电阻率(0.025~0.05MΩ·cm)型
  • 小型·电气部分离型
  • 大流量(100 L/min)型
  • 其他 可定制

关于薄膜产品的详细产品介绍,请浏览「SEPAREL」的网站。

separel.com

关于本产品
网络咨询 咨询用表
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